精密微調(diào)平臺在精密測厚時(shí)需要注意哪些

添加時(shí)間：2016-8-1 7:09:49 作者：浙江金科機(jī)械傳動有限公司

1、精密微調(diào)平臺用單激光測厚
　　被測體放在測量精密微調(diào)平臺上，測量出傳感器到平臺表面距離，然后再測出傳感器到被測體表面間距，經(jīng)計(jì)算后測出厚度。要求被測體與測量精密微調(diào)平臺之間無氣隙，被測體無翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線情況實(shí)現(xiàn)。
2、 精密微調(diào)平臺測厚
　　在被測體上方和下方各安裝一個(gè)精密微調(diào)平臺 ，被測體厚度D=C-（A+B）。其中，C是兩個(gè)傳感器之間距離，A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離，B是下面精密微調(diào)平臺到被測體之間距離。圖中：SMR是指精密微調(diào)平臺量程起始間距，MR是指傳感器量程。
　　在線厚度測量用這種方法優(yōu)點(diǎn)是可消除被測體振動對測量結(jié)果的影響。但同時(shí)對傳感器安裝和性能有要求。
　　保證精密微調(diào)平臺測量準(zhǔn)確性的條件是：兩個(gè)傳感器發(fā)射光束必須同軸，以及兩個(gè)傳感器掃描必須同步（見本文附圖）。同軸是靠安裝實(shí)現(xiàn)，而同步要靠選擇有同步端 激光傳感器 。如真精密微調(diào)平臺10X系列激光位移傳感器都有同步端。精密微調(diào)平臺