探討精密XY位移平臺平行四連桿結構及力學模型

添加時間：2020-6-9 9:24:34 作者：浙江金科機械傳動有限公司

1.精密XY位移平臺平行四連桿結構
    精密XY位移平臺用于微定位,產生微米至納米級的位移,要求其導軌副間無間隙和摩擦,位移分辨率高,在保證大輸出位移情況下具有較大的剛度,只沿驅動方向作直線運動,而不在其他方向上產生交叉耦合位移。雙柔性平行四桿結構呈對稱性,不僅能消除單平行四桿結構中存在的交叉耦合位移,而且在一定程度上減弱了外界的干擾,具有良好的導向性。
    精密XY位移平臺的結構模型。當給工作臺施加驅動力時,所有的柔性鉸鏈將產生一定的偏轉,使精密XY位移平臺沿驅動力方向產生一定位移,在保證加工和裝配完全對稱的條件下,該結構的對稱性使微動臺不會在垂直方向產生耦合運動。同時,該結構的間接驅動方式能有效避免工作臺面產生變形,使pzt的驅動位移得到高效地傳遞
2.精密XY位移平臺柔性鉸鏈的力學模型
精密XY位移平臺采用雙圓弧柔性鉸鏈,其繞z軸轉動剛度為kb=2ebt5/2/9πr1/2式中 e為材料的彈性模量; t、h、b分別為厚度和高度。
pzt產生推力,驅動微動臺運動,驅動力對柔性鉸鏈產生一個繞z軸的力矩mz,使鉸鏈繞z軸偏轉αz角

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